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标题
Simulation of Silicon Carbide Sputtering by a Focused Gallium Ion Beam
聚焦镓离子束溅射碳化硅的模拟
相关领域
溅射 镓 材料科学 碳化硅 碳化物 离子 离子束 聚焦离子束 硅 工程物理 梁（结构） 光电子学 化学 纳米技术 薄膜 光学 物理 冶金 有机化学
网址
https://doi.org/10.1134/s1063782622130085
DOI
10.1134/s1063782622130085 doi
其它 期刊：Semiconductors
作者：A. V. Rumyantsev; O. V. Podorozhniy; Р. Л. Волков; Н. И. Боргардт
出版日期：2022-12-01
求助人
Gzhang 在 2025-01-21 16:44:23 发布自美国，悬赏 10 积分
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