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 Self-consistent dc glow-discharge simulations applied to diamond film deposition reactors 应用于金刚石薄膜沉积反应器的自洽直流辉光放电模拟
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：M. Surendra; David B. Graves; Linda S. Plano 出版日期：1992-05-15 |
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