标题 |
Design of an ECR coaxial microwave plasma source using solid state microwave generator
基于固态微波发生器的ECR同轴微波等离子体源设计
相关领域
微波食品加热
同轴
发电机(电路理论)
等离子体
离子源
材料科学
物理
电气工程
计算机科学
工程类
电信
功率(物理)
核物理学
热力学
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期刊:Bulletin of the American Physical Society 作者:L. Latrasse; Marilena Radoiu 出版日期:2012-10-24 |
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