Fabrication of aspherical mirrors for HiNA (high numerical aperture EUV exposure tool) set-3 projection optics

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标题	Fabrication of aspherical mirrors for HiNA (high numerical aperture EUV exposure tool) set-3 projection optics HiNA（高数值孔径EUV曝光工具）set-3投影光学用非球面镜的制造相关领域光学自适应光学物理波前均方根斯太尔率数值孔径日冕仪变形镜波长天体物理学行星量子力学系外行星
网址	https://doi.org/10.1117/12.562365
DOI	10.1117/12.562365 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Tetsuya Oshino; Takahiro Yamamoto; Tatsuro Miyoshi; Masayuki Shiraishi; T. Komiya; et al 出版日期：2004-05-20
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