发布文献求助
已关闭
  • 文献求助详情
标题
Selective mask deposition using SiCl4 plasma for highly selective etching process
用于高选择性蚀刻工艺的SiCl4等离子体选择性掩模沉积
相关领域
蚀刻（微加工） 沉积（地质） 图层（电子） 等离子体刻蚀 材料科学 电子回旋共振 反应离子刻蚀 成核 分析化学（期刊） 纳米技术 化学工程 化学 色谱法 有机化学 离子 古生物学 沉积物 工程类 生物
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002773
DOI
10.1116/6.0002773 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Miyako Matsui; Makoto Miura; Kenichi Kuwahara
出版日期：2023-09-21
求助人
Starsin 在 2025-02-26 18:58:07 发布自辽宁，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Selective etching of SiO2 relative to Si by plasma reactive sputter etching
  2. Feasibility of atomic layer etching of polymer material based on sequential O2 exposure and Ar low-p...
  3. Chromium oxide as a hard mask material better than metallic chromium
  4. Silicon nitride etching in high- and low-density plasmas using SF6/O2/N2 mixtures
  5. Mechanism of Plasma-Less Gaseous Etching Process for Damaged Oxides from the Ion Implantation Proces...
  6. Low radio frequency biased electron cyclotron resonance plasma etching
  7. Measurement of Plasma Density for Control of Etching Profile in Inductively Coupled Plasma Etching o...
  8. Microfabrication Technique by Gas Plasma Etching Method
  9. Superfine IC geometries: Gas-plasma etching may supplant chemical etching in manufacturing high-perf...
  10. Gaseous Media for Plasma Chemistry and Etching
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 4小时前，求助关闭

    Starsin Starsin 求助人 Lv1 关闭了本次求助。

    说明 找到了【积分已退回】

  • 4小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    18:58:08 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    18:58:07 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    18:58:07 已向机器人发送请求

  • 4小时前

    Starsin Starsin 求助人 Lv1 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
2秒前
科研通AI5的应助被哈哈哈哈采纳，获得10
3秒前
海晨完成签到，获得积分10
4秒前
MMM发布了新的文献求助10
4秒前
5秒前
raycee发布了新的文献求助10
5秒前
6秒前
7秒前
8秒前
心灵美芯完成签到，获得积分10
8秒前
搞搞科研完成签到，获得积分10
10秒前
11秒前
11秒前
krk发布了新的文献求助10
13秒前
NexusExplorer的应助被海晨采纳，获得10
13秒前
背后中心发布了新的文献求助10
13秒前
没什么是看文献解决不了的完成签到，获得积分10
13秒前
13秒前
秋千发布了新的文献求助10
13秒前
调研昵称发布了新的文献求助10
15秒前
15秒前
轩辕盼波发布了新的文献求助50
16秒前
wuxueyi发布了新的文献求助10
16秒前
完美世界的应助被哈哈哈哈采纳，获得10
17秒前
科研通AI5的应助被优秀少年采纳，获得10
17秒前
舒窈完成签到 ，获得积分10
18秒前
18秒前
AprilLeung完成签到 ，获得积分10
18秒前
科目三的应助被lance采纳，获得10
19秒前
Eden发布了新的文献求助30
20秒前
21秒前
Tatw完成签到 ，获得积分10
21秒前
Zhang发布了新的文献求助10
21秒前
22秒前
22秒前
Orange的应助被krk采纳，获得10
22秒前
22秒前
22秒前
大利完成签到，获得积分10
27秒前
聪慧寄凡发布了新的文献求助10
28秒前
高分求助中
Continuum thermodynamics and material modelling 3000
Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements 2500
Healthcare Finance: Modern Financial Analysis for Accelerating Biomedical Innovation 2000
Applications of Emerging Nanomaterials and Nanotechnology 1111
Les Mantodea de Guyane Insecta, Polyneoptera 1000
Theory of Block Polymer Self-Assembly 750
지식생태학: 생태학, 죽은 지식을 깨우다 700
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 材料科学 生物 工程类 有机化学 生物化学 纳米技术 内科学 物理 化学工程 计算机科学 复合材料 基因 遗传学 物理化学 催化作用 细胞生物学 免疫学 电极
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3484036
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3073149
关于积分的说明 9129737
捐赠科研通 2764836
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1517444
邀请新用户注册赠送积分活动 702119
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 701009
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通