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标题
Theoretical and experimental research on nanosecond laser cleaning of SiO2 particles on silicon wafer surface
纳秒激光清洗硅片表面SiO2颗粒的理论与实验研究
相关领域
材料科学 薄脆饼 基质(水族馆) 混合硅激光器 激光器 粒子(生态学) 表面粗糙度 光电子学 光学 复合材料 海洋学 物理 地质学
网址
DOI
10.1007/s00170-023-12767-2 doi
其它 期刊:The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
作者:Lifang Mei; Long Lin; Dongbing Yan; Hongji Tian; Liang Yu; et al
出版日期:2023-12-12
求助人
xuerkk 在 2025-01-07 09:43:13 发布自陕西,悬赏 10 积分
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