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 Characterization of AlN thin film piezoelectric coefficient d31 using Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (PMUTs) 用压电微机械超声换能器表征AlN薄膜的压电系数d31
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期刊：Journal of physics 作者：Zhenghu Zhang; Linwei Zhang; Zhipeng Wu; Mingze Gao; Liang Lou 出版日期：2023-05-01 |
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