Surface quality and material removal rate in nanoscale micro-laser aided polishing on AlN monocrystal via thermal effect

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标题	Surface quality and material removal rate in nanoscale micro-laser aided polishing on AlN monocrystal via thermal effect 纳米微激光热效应辅助抛光AIN晶体的表面质量和材料去除率相关领域抛光材料科学纳米尺度激光器冶金热的曲面（拓扑）纳米技术光学几何学物理数学气象学
网址	https://doi.org/10.1016/j.triboint.2024.109950
DOI	10.1016/j.triboint.2024.109950 doi
其它	期刊：Tribology International 作者：Tan-Tai Do; Te‐Hua Fang 出版日期：2024-07-01
求助人	Soft 在 2024-09-12 19:26:31 发布自四川，悬赏 10 积分
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