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 CNT EUV pellicle: balancing options (Conference Presentation) 碳纳米管极紫外薄膜：平衡选项（会议演讲）
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期刊： 作者：Emily Gallagher; Ivan Pollentier; Marina Y. Timmermans; Marina Mariano Juste; Cedric Huyghebaert 出版日期：2019-10-17 |
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