A PZT MEMS loudspeaker with a quasi-closed diaphragm - 科研通

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标题	A PZT MEMS loudspeaker with a quasi-closed diaphragm 一种准封闭振膜PZT MEMS扬声器相关领域振膜（声学）扬声器材料科学帕利烯微电子机械系统电压声学压电电气工程工程类光电子学复合材料物理聚合物
网址	https://doi.org/10.1016/j.sna.2023.114454
DOI	10.1016/j.sna.2023.114454 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A-physical 作者：Yifei Ma; Lu Yao; Ning Deng; Qincheng Zheng; Ke Cao; et al 出版日期：2023-08-01
求助人	Xianhao 在 2024-05-23 10:09:32 发布自浙江，悬赏 10 积分
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