UV-curable polyimide/layered silicate films with improved barrier properties for the protection of semiconductor chips

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标题	UV-curable polyimide/layered silicate films with improved barrier properties for the protection of semiconductor chips 用于保护半导体芯片的具有改进的阻隔性能的可UV固化聚酰亚胺/层状硅酸盐薄膜相关领域聚酰亚胺渗透材料科学硅酸盐纳米复合材料涂层剥脱关节化学工程水分傅里叶变换红外光谱复合材料图层（电子）石墨烯膜纳米技术化学生物化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2023.112014
DOI	10.1016/j.mee.2023.112014 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Joshua Lommes; Gesa Patzelt; Volkmar Stenzel 出版日期：2023-04-30
求助人	有魅力的从凝在 2025-03-25 17:52:48 发布自安徽，悬赏 10 积分
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