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标题
Reducing roughness in extreme ultraviolet lithography
降低极紫外光刻中的粗糙度
相关领域
极紫外光刻 平版印刷术 表面光洁度 材料科学 极端紫外线 表面粗糙度 计算光刻 光学 下一代光刻 光学(聚焦) 抵抗 光电子学 光刻 X射线光刻 电子工程 纳米技术 电子束光刻 物理 工程类 复合材料 激光器 图层(电子)
网址
DOI
10.1117/1.jmm.17.4.041006 doi
其它 期刊:Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems
作者:Chris A. Mack
出版日期:2018-08-07
求助人
雍远望 在 2023-11-15 15:27:13 发布自浙江,悬赏 10 积分
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