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 Research on the Mass Adding and Removing Combined Mechanical Trimming Method of the Ring MEMS Gyroscope 环形MEMS陀螺加减质量组合机械修整方法的研究
相关领域
陀螺仪
修边
振动结构陀螺仪
微电子机械系统
验证质量
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材料科学
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物理
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期刊：Micromachines 作者：X. Wang; Kai Wu; Cheng-Xiang Wang; Qingsong Li; Zhanqiang Hou; et al 出版日期：2023-10-20 |
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