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 A density functional theory study on the passivation mechanisms of hydrogenated Si/Al2O3 interfaces 氢化Si/Al2O3界面钝化机理的密度泛函理论研究
相关领域
钝化
材料科学
氢
硅
非晶硅
氧化物
热的
化学工程
化学物理
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纳米技术
光电子学
化学
冶金
图层（电子）
热力学
物理
有机化学
工程类
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Francesco Paolo Colonna; Saskia Kühnhold-Pospischil; Christian Elsässer 出版日期：2020-01-17 |
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