Limitations of the independent control of ion flux and energy distribution function in high-density inductively coupled chlorine plasmas

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标题	Limitations of the independent control of ion flux and energy distribution function in high-density inductively coupled chlorine plasmas 高密度电感耦合氯等离子体中离子通量和能量分布函数独立控制的局限性相关领域感应耦合等离子体等离子体离子原子物理学化学等离子体参数焊剂（冶金）分布函数电极计算物理学物理热力学量子力学物理化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002236
DOI	10.1116/6.0002236 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Dmitry Levko; Rochan Upadhyay; Kenta Suzuki; Laxminarayan L. Raja 出版日期：2022-12-22
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