Anisotropic Etching of Crystalline Silicon in Alkaline Solutions: I . Orientation Dependence and Behavior of Passivation Layers

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标题	Anisotropic Etching of Crystalline Silicon in Alkaline Solutions: I . Orientation Dependence and Behavior of Passivation Layers 单晶硅在碱性溶液中的各向异性刻蚀钝化层的取向依赖性和行为相关领域钝化蚀刻（微加工）材料科学硅 Crystal（编程语言）化学氢氧化物各向同性腐蚀离子分析化学（期刊）无机化学图层（电子）有机化学计算机科学程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1149/1.2086277
DOI	10.1149/1.2086277 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：H. Seidel; L. Csepregi; A. Heuberger; H. Baumgärtel 出版日期：1990-11-01
求助人	港崽宝宝在 2024-09-27 11:05:06 发布自湖南，悬赏 10 积分
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