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State-of-the-art of EUV materials for N5 logic and DRAM applications
用于N5逻辑和DRAM应用的EUV材料的最新技术
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期刊: 作者:Ran Xue; Danilo De Simone; Yannick Vesters; Pieter Venelderen; Ivan Pollentier; et al 出版日期:2018-10-03 |
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