Effects of different processing parameters on laser water jet-machining silicon

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标题	Effects of different processing parameters on laser water jet-machining silicon 不同工艺参数对激光水射流加工硅的影响相关领域材料科学沟槽（工程）激光器机械加工喷射（流体）脆性硅光学材料加工图像处理激光切割机械工程光电子学计算机科学工艺工程复合材料机械工程类冶金物理图像（数学）人工智能
网址	https://doi.org/10.1134/s0869864322060130
DOI	10.1134/s0869864322060130 doi
其它	期刊：Thermophysics and Aeromechanics 作者：Y. Chen; X. Li; X. Chen; H. Li 出版日期：2023-03-16
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