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Effects of different processing parameters on laser water jet-machining silicon

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作者
Y. Chen,X. Li,X. Chen,H. Li
出处
期刊：Thermophysics and Aeromechanics [Springer Nature]
日期：2023-03-16 卷期号：29 (6): 929-939 被引量：1
标识
DOI：10.1134/s0869864322060130
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