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 Influence of hydrogen gas flow ratio on the properties of silicon- and nitrogen-doped diamond-like carbon films by plasma-enhanced chemical vapor deposition 氢气流量比对等离子体增强化学气相沉积硅和氮掺杂类金刚石薄膜性能的影响
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期刊：Diamond and Related Materials 作者：Yuya Sasaki; Hiroya Osanai; Yusuke Ohtani; Yuta Murono; Masayoshi Sato; et al 出版日期：2022-03-01 |
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