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 Benchmarking and validation of a hybrid model for electropositive and electronegative capacitively coupled plasmas 正电性和负电性电容耦合等离子体混合模型的基准测试和验证
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Yu‐Ru Zhang; Jia-Wei Huang; Fang-Jie Zhou; Chang Lu; Jing‐Yu Sun; et al 出版日期：2023-04-19 |
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