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标题
FEOL CMP modeling challenges and solution in 3D NAND
3D NAND中的FEOL CMP建模挑战和解决方案
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化学机械平面化 计算机科学 平面度测试 生产线后端 与非门 炸薯条 根本原因 实体造型 抛光 可靠性工程 机械工程 逻辑门 工程类 互连 算法 人工智能 计算机网络 电信 化学 结晶学
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.2515167
DOI
10.1117/12.2515167 doi
求助人
生动青文 在 2025-01-16 15:38:42 发布自北京，悬赏 20 积分
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