Study on PVA Brush Loading and Conditioning during Shallow Trench Isolation Post-CMP Cleaning Process

已完结

文献求助详情

标题	Study on PVA Brush Loading and Conditioning during Shallow Trench Isolation Post-CMP Cleaning Process 浅沟隔离CMP后清洗过程中PVA电刷加载与调理的研究相关领域刷子数据清理材料科学污染湿法清洗化学工程聚乙烯醇复合材料废物管理化学有机化学生态学生物工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1149/2162-8777/ac5166
DOI	10.1149/2162-8777/ac5166 doi
求助人	啦啦啦在 2024-11-25 20:52:12 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 章鱼发布了新的文献求助10

1秒前; hong完成签到，获得积分10

1秒前; DSH完成签到，获得积分10

2秒前; 冷酷的冰旋发布了新的文献求助10

5秒前; OL发布了新的文献求助10

6秒前; Bazinga完成签到，获得积分10

7秒前; 科研通AI2.0上传了应助文件

8秒前; 斑马兽完成签到，获得积分10

8秒前; 今后的应助被刘佳会采纳，获得10

9秒前; CipherSage的应助被朴实如冰采纳，获得10

11秒前; 爆米花的应助被WQ采纳，获得10

11秒前; 坚果完成签到，获得积分10

12秒前; 我是老大的应助被邓邓采纳，获得10

15秒前; Helic完成签到，获得积分10

16秒前; 科研通AI2S的应助被LARS采纳，获得10

16秒前; Ava的应助被treasure采纳，获得10

16秒前; Orange的应助被cyk采纳，获得10

18秒前; huahua发布了新的文献求助10

19秒前; 少年完成签到，获得积分10

20秒前; dudu上传了应助文件

22秒前; Ava上传了应助文件

22秒前; Catalina完成签到，获得积分10

24秒前; 顾矜的应助被章鱼采纳，获得10

25秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

26秒前; 畅畅发布了新的文献求助10

26秒前; 彭于彦祖的应助被米妮采纳，获得30

29秒前; treasure完成签到，获得积分10

29秒前; PsyAerill发布了新的文献求助10

30秒前; 阿怪发布了新的文献求助10

33秒前; OL完成签到，获得积分10

34秒前; 畅畅完成签到，获得积分10

37秒前; 无花果的应助被科研通管家采纳，获得30

38秒前; 我是老大的应助被科研通管家采纳，获得10

39秒前; 情怀的应助被科研通管家采纳，获得10

39秒前; 哎嘿的应助被科研通管家采纳，获得10

39秒前; 共享精神的应助被科研通管家采纳，获得10

39秒前; 赘婿的应助被科研通管家采纳，获得10

39秒前; 住在魔仙堡的鱼发布了新的文献求助100

40秒前; 科研通AI2.0上传了应助文件

40秒前; PsyAerill完成签到，获得积分10

43秒前