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Large-scale Hf0.5Zr0.5O2 membranes with robust ferroelectricity
具有鲁棒铁电性的大型Hf0.5Zr 0.5 O2膜
相关领域
铁电性
材料科学
哈夫尼亚
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纳米电子学
微电子
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纳米技术
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