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![]() 高深宽比三维结构原子层沉积薄膜工艺优化的实验和模拟方法
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Matthias C. Schwille; Timo Schössler; Jonas Barth; Martin Knaut; Florian Schön; et al 出版日期:2016-12-02 |
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