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 Impact of an annealing atmosphere on band-alignment of a plasma-enhanced atomic layer deposition-grown Ga2O3/SiC heterojunction 退火气氛对等离子体增强原子层沉积生长Ga2O3/SiC异质结能带排列的影响
相关领域
材料科学
原子层沉积
异质结
退火（玻璃）
等离子体
大气（单位）
光电子学
沉积（地质）
图层（电子）
纳米技术
冶金
气象学
古生物学
物理
量子力学
沉积物
生物
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