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  High-fidelity and clean nanotransfer lithography using structure-embedded and electrostatic-adhesive carriers 使用结构嵌入和静电粘合载体的高保真和清洁纳米转移光刻
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材料科学
纳米技术
平版印刷术
基质（水族馆）
摩擦电效应
制作
光掩模
光刻
纳米结构
光电子学
抵抗
复合材料
医学
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病理
图层（电子）
地质学
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期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Zhuofei Gan; Jingxuan Cai; Zhao Sun; Liyang Chen; Chuying Sun; et al 出版日期：2023-01-09 |
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