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![]() 用多极共振探针、朗缪尔探针和发射光谱测量不同低压等离子体中的电子密度
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期刊:2016 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS) 作者:Moritz Oberberg; Stefan Ries; Nikita Bibinov; Peter Awakowicz 出版日期:2016-08-16 |
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