Moisture-resistant properties of SiNx films prepared by PECVD

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标题	Moisture-resistant properties of SiNx films prepared by PECVD PECVD法制备SiNx薄膜的防潮性能相关领域硅烷等离子体增强化学气相沉积水分材料科学湿度化学气相沉积氨水蒸气氮化硅化学工程沉积（地质）硅分析化学（期刊）复合材料化学纳米技术环境化学有机化学冶金工程类热力学古生物学沉积物生物物理
网址	https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)00812-8
DOI	10.1016/s0040-6090(98)00812-8 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Hui Lin; Liqiang Xu; Xiang Chen; Xuhong Wang; Sheng Mei; et al 出版日期：1998-11-01
求助人	little 在 2025-03-18 13:18:54 发布，悬赏 10 积分
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