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Nanoscale Compositional Segregation in Epitaxial AlScN on Si(111)
Si(111)外延AlScN中的纳米级成分偏析
相关领域
材料科学
外延
纳米尺度
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物理
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期刊:Nanoscale horizons 作者:Xiaoman Zhang; Eric A Stach; Wen Jin Meng; Andrew Chengsi Meng 出版日期:2023-01-01 |
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