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Nanoscale compositional segregation in epitaxial AlScN on Si (111)

材料科学 外延 纳米尺度 结晶学 凝聚态物理 纳米技术 化学 物理 图层（电子）
作者
Xiaoman Zhang,Eric A. Stach,W. J. Meng,Andrew C. Meng
出处
期刊：Nanoscale horizons [The Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01 卷期号：8 (5): 674-684 被引量：10
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d2nh00567k
摘要
We report the growth of epitaxial wurtzite AlScN thin films on Si (111) substrates with a wide range of Sc concentrations using ultra-high vacuum reactive sputtering.
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