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 Fabrication of the microfluidic channels in silicon wafers using isotropic wet etching method: the impact of the composition of HNA solution on etching 各向同性湿法刻蚀硅片微流体通道的制备：HNA溶液组成对刻蚀的影响
相关领域
蚀刻（微加工）
薄脆饼
制作
硅
材料科学
干法蚀刻
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各向同性腐蚀
反应离子刻蚀
作文（语言）
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期刊：Microsystem Technologies 作者：Pradeep Dewangan; S. Purohit; Vishal Sahu; Robbi Vivek Vardhan; Mahesh Peddigari; et al 出版日期：2024-05-16 |
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