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Control of subthreshold swing using an in situ PEALD nano-laminated IGZO/Al2O3 multi-channel structured TFT
用原位PEALD纳米层压IGZO/Al2O3多通道结构TFT控制亚阈值摆幅
相关领域
薄膜晶体管
材料科学
晶体管
光电子学
堆积
原子层沉积
阈下摆动
阈值电压
阈下传导
电压
计算机科学
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图层(电子)
电气工程
物理
工程类
核磁共振
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期刊:Journal of information display 作者:Won-Bum Lee; Yoon-Seo Kim; Jin‐Seong Park 出版日期:2023-08-22 |
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