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Fabrication of silicon nitride based high-Q microring resonators prepared by hot-wire CVD method and their applications to frequency comb generation
热丝CVD法制备氮化硅基高Q微环谐振器及其在频率梳产生中的应用
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期刊:Optical Materials Express 作者:Shota Sota; Koichiro Handa; Shun Fujii; Takasumi Tanabe; Yoshinori Uzawa; et al 出版日期:2024-04-02 |
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