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标题
Advanced process technologies: Plasma, direct-write, atmospheric pressure, and roll-to-roll ALD
先进工艺技术：等离子体、直写、大气压和卷对卷ALD
相关领域
大气压等离子体 大气压力 过程（计算） 等离子体 材料科学 环境科学 工艺工程 纳米技术 工程类 计算机科学 气象学 物理 量子力学 操作系统
网址
https://doi.org/10.1557/mrs.2011.239
DOI
10.1557/mrs.2011.239 doi
其它 期刊：MRS bulletin
作者：W. M. M. Kessels; Matti Putkonen
出版日期：2011-11-01
求助人
ding 在 2024-07-10 21:38:20 发布自陕西，悬赏 10 积分
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