Advanced process technologies: Plasma, direct-write, atmospheric pressure, and roll-to-roll ALD

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标题	Advanced process technologies: Plasma, direct-write, atmospheric pressure, and roll-to-roll ALD 先进工艺技术：等离子体、直写、大气压和卷对卷ALD 相关领域大气压等离子体大气压力过程（计算）等离子体材料科学环境科学工艺工程纳米技术工程类计算机科学气象学物理量子力学操作系统
网址	https://doi.org/10.1557/mrs.2011.239
DOI	10.1557/mrs.2011.239 doi
其它	期刊：MRS bulletin 作者：W. M. M. Kessels; Matti Putkonen 出版日期：2011-11-01
求助人	ding 在 2024-07-10 21:38:20 发布自陕西，悬赏 10 积分
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