Advanced process technologies: Plasma, direct-write, atmospheric pressure, and roll-to-roll ALD

大气压等离子体 大气压力 过程(计算) 等离子体 材料科学 环境科学 工艺工程 纳米技术 工程类 计算机科学 气象学 物理 量子力学 操作系统
作者
W. M. M. Kessels,Matti Putkonen
出处
期刊:Mrs Bulletin [Springer Nature]
卷期号:36 (11): 907-913 被引量:65
标识
DOI:10.1557/mrs.2011.239
摘要

Abstract
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