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 An improved method for measuring epi-wafer thickness based on the infrared interference principle: Addressing interference quality and multiple interferences in double-layer structures 基于红外干涉原理的外延片厚度测量改进方法：解决双层结构中的干涉质量和多重干涉
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期刊：Results in physics 作者：Jiaxing Sun; Zhisong Li; Haojie Zhang; Jinlong Song; T. Zhai 出版日期：2023-11-01 |
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