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Beam-assisted-etching technique for fabrication of single crystal diamond field emitter tip
单晶金刚石场发射尖端的束辅助刻蚀技术
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期刊:Microelectronic Engineering 作者:J. Taniguchi; J. Yokoyama; M. Komuro; H. Hiroshima; I. Miyamoto 出版日期:2002-07-25 |
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