Beam-assisted-etching technique for fabrication of single crystal diamond field emitter tip

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作者
Jun Taniguchi,J. Yokoyama,Masanori Komuro,Hiroshi Hiroshima,Iwao Miyamoto
出处
期刊:Microelectronic Engineering [Elsevier]
卷期号:53 (1-4): 415-418 被引量:10
标识
DOI:10.1016/s0167-9317(00)00346-4
摘要

We fabricated a single crystal diamond field emitter tip using focused ion beam assisted etching and investigated characteristics of electron emission from single crystal diamond. Electron emission from single crystal diamond is field emission. FIB assisted etching is very useful to reduce emission site.
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