Effect of Vacuum Annealing on the Properties of Transparent Conductive AZO Thin Films Prepared by DC Magnetron Sputtering

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标题	Effect of Vacuum Annealing on the Properties of Transparent Conductive AZO Thin Films Prepared by DC Magnetron Sputtering 相关领域材料科学薄膜退火（玻璃）溅射沉积透明导电膜电阻率和电导率兴奋剂托尔溅射导电体陶瓷超高真空腔磁控管光电子学复合材料纳米技术物理工程类电气工程热力学
网址	https://doi.org/10.1002/1521-396x(200209)193:13.0.co;2-d
DOI	10.1002/1521-396x(200209)193:1<139::aid-pssa139>3.0.co;2-d doi
其它	期刊：Physica status solidi 作者：Gu Fang; D. M. Li; Baoquan Yao 出版日期：2002-09-01
求助人	小林染在 2023-06-17 20:33:19 发布自福建，悬赏 10 积分
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