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标题
Optical and electrical properties of LPCVD silicon oxynitride films on silicon
硅上LPCVD氧氮化硅薄膜的光电性能
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网址
https://doi.org/10.1016/s0042-207x(00)00479-6
DOI
10.1016/s0042-207x(00)00479-6 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：A. Szekeres; S. Alexandrova; M. Modreanu; P. Cosmin; M. Gärtner
出版日期：2001-05-01
求助人
hanghang 在 2025-01-05 22:13:10 发布自江苏，悬赏 10 积分
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