标题 |
Surface profile measurement of transparent parallel plates by multi-scale analysis phase-shifting interferometry (MAPSI)
用多尺度分析相移干涉法(MAPSI)测量透明平行板的表面轮廓
相关领域
干涉测量
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期刊:Optics and Lasers in Engineering 作者:Yifan Ding; Qi Lü; Shijie Liu; Xu Zhang; Dapeng Chen; et al 出版日期:2024-10-01 |
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