Surface profile measurement of transparent parallel plates by multi-scale analysis phase-shifting interferometry (MAPSI)

干涉测量 光学 相(物质) 比例(比率) 曲面(拓扑) 材料科学 计算机科学 物理 几何学 数学 量子力学
作者
Yifan Ding,Qi Lü,Shijie Liu,Xu Zhang,Dapeng Chen,Jianda Shao
出处
期刊:Optics and Lasers in Engineering [Elsevier]
卷期号:181: 108432-108432 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.optlaseng.2024.108432
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