Monolithic and heterogeneous three-dimensional integration of two-dimensional materials with high-density vias

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标题	Monolithic and heterogeneous three-dimensional integration of two-dimensional materials with high-density vias 具有高密度通孔的二维材料的单片和异质三维集成相关领域材料科学工程物理工程类
网址	https://doi.org/10.1038/s41928-024-01251-8
DOI	10.1038/s41928-024-01251-8 doi
其它	期刊：Nature electronics 作者：Subir Ghosh; Yikai Zheng; Zhiyu Zhang; Yongwen Sun; Thomas F. Schranghamer; et al 出版日期：2024-10-09
求助人	青鸟飞鱼在 2024-12-17 13:54:40 发布自湖南，悬赏 10 积分
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