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标题
Soft Sputtering of Large‐Area 2D MoS2 Layers Using Isolated Plasma Soft Deposition for Humidity Sensors
用于湿度传感器的隔离等离子体软沉积软溅射大面积二维MoS2层
相关领域
材料科学 二硫化钼 薄脆饼 拉曼光谱 纳米技术 光电子学 光致发光 半导体 溅射 制作 原子层沉积 图层(电子) 沉积(地质) 等离子体 薄膜 光学 复合材料 物理 病理 古生物学 量子力学 沉积物 替代医学 生物 医学
网址
DOI
10.1002/adma.202414800 doi
其它 期刊:Advanced Materials
作者:Hye‐Young Youn; Tae‐Yang Choi; Junoh Shim; Se Young Park; Min‐Ki Kwon; et al
出版日期:2024-11-28
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