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标题
Decoupled Plasma Nitridation (DPN) and Postnitridation Annealing (PNA) Treatment for Metal Boundary Effect Reduction
去耦等离子体氮化（DPN）和氮化后退火（PNA）处理降低金属边界效应
相关领域
退火（玻璃） 材料科学 等离子体 还原（数学） 金属 血糖 冶金 数学 内科学 医学 物理 几何学 量子力学 胰岛素
网址
https://doi.org/10.1109/ted.2024.3360027
DOI
10.1109/ted.2024.3360027 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Electron Devices
作者：Ming Tian; Kun Chen; Chen Wang; Tianpeng Guan; Qingqing Sun; et al
出版日期：2024-03-01
求助人
无机非 在 2025-01-10 09:23:36 发布自安徽，悬赏 10 积分
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