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标题
Low temperature (<700 °C) SiO2 and Si-rich SiO2 films: Short review
低温（<700°C）SiO2和富硅SiO2薄膜：综述
相关领域
材料科学 化学气相沉积 电介质 硅 沉积（地质） 光电子学 太阳能电池 纳米技术 工程物理 古生物学 沉积物 工程类 生物
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002531
AI链接 aip.orgdoi.org
DOI
10.1116/6.0002531 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science and technology
作者：Ciro Falcony; D. Estrada-Wiese; Jessica De Anda; Oscar Pérez-Díaz; Mariano Aceves-Mijares
出版日期：2023-05-01
求助人
AHUAMM 在 2024-12-25 13:24:57 发布自北京，悬赏 10 积分
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