标题 |
Abbe offset reduction for a nanometre accurate moving scale measurement system
纳米级移动尺度测量系统的阿贝偏移减小
相关领域
纳米
偏移量(计算机科学)
还原(数学)
比例(比率)
材料科学
计算机科学
物理
光学
数学
几何学
量子力学
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期刊: 作者:Niels Bosmans; Jeroen Tuytens; Jun Qian; Dominiek Reynaerts 出版日期:2013-03-01 |
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