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标题
Highly insulating alumina films by a bipolar reactive MF sputtering process with special arc handling
特殊电弧处理双极反应MF溅射工艺制备高绝缘氧化铝薄膜
相关领域
溅射 材料科学 微电子 沉积（地质） 阴极 电弧 薄膜 铝 光电子学 弧（几何） 复合材料 分析化学（期刊） 电极 纳米技术 电气工程 化学 工程类 物理化学 古生物学 几何学 数学 色谱法 沉积物 生物
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2015.09.036
DOI
10.1016/j.surfcoat.2015.09.036 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：F.C. Carreri; Ralf Bandorf; Holger Gerdes; Michael Vergöhl; Günter Bräuer
出版日期：2015-09-25
求助人
沉默烨霖 在 2024-12-23 21:20:42 发布自天津，悬赏 10 积分
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