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Highly insulating alumina films by a bipolar reactive MF sputtering process with special arc handling

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作者

F.C. Carreri,Ralf Bandorf,Holger Gerdes,Michael Vergöhl,Günter Bräuer

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2015-09-25 卷期号：290: 82-86 被引量：10

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2015.09.036

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